MicroSensor相关论文
A high performance CMOS band-gap voltage reference circuit that can be used in interface integrated circuit of microsens......
基于微纳制造、微电子等技术的传感器芯片系统具有体积小、质量轻、功耗低、易于批量化生产、成本低、易于集成化等优点,是传感技......
以铜离子选择电极为靶材,采用脉冲激光沉积技术在p型单晶硅基底上制备了一种铜离子选择电流型薄膜传感器。该传感器的线性区间为10......
介绍了将LIGA技术及其与牺牲层技术相结合,制造可动微结构的工艺方法.并给出了可实现摆动、转动的可动微结构--微执行器、微传感器......
在小挠度变形假设的基础上对接触型电容式微型压力传感器进行分析。通过对压力传感器敏感元件硅膜片的弹性分析给出了传感器的模型......
简要介绍了基于磁控射频溅射技术的Si3N4薄膜沉积技术及Si3N4薄膜基于剥离(lift-off)技术的微加工技术。实验结果表明该技术适用于......
阐述了一种MOS场效应管 (MOSFET)压力微传感器的结构和基本工作原理。通过对该传感器的仿真实验 ,证明了MOSFET压力微传感器可通过......
Based on the sensing mechanism of microsensor, a simulation model of a practical silicon beam resonator attached to an E......
Based on the sensing mechanism of microsensor, a simulation model of a practical silicon beam resonator attached to an E......
概述了微机电系统(MEMS)的定义和特征,从理论基础、技术基础和工程应用三方面,阐述了微机电系统的研究内容,简要介绍了MEMS基础技......
随着微传感器的广泛应用,微机械加工技术被越来越多地应用于传感器的制造工艺中.从微机械加工技术的关键工艺入手,分别对体微机械......
本文简要地评述了微机构、微传感器、微执行器的发展,提出了微机械电子学系统的概念,指出了微机械电子学系统的发展前景。更多还原......
介绍了微型传感器与变压器一体化的组合，阐述了一体化组合的原理、结构及试验方法，给出了应用实例。......
制备了一种新型的Nafion/Au溶胶修饰微铂传感器(Au溶胶颗粒的直径为7～14 nm), 并将该传感器应用于心肌细胞中NO水平的研究. 实验结......
纳米科学技术是具有广阔应用前景的面向２１世纪的一门新技术，广泛涉及到材料科学，机械学，电子学等各个领域。通过介绍纳米科学技术的缺点......
传感技术的一个重要发展方向是传感器的微型化，微机械加工技术同昌硅微传感器的基础工艺技术，也是制作微执行器和微电子机械系统的基......
概述国内外目前已实现的微机械传感器，特别是微机械谐振式传感器的类型、工作原理性能和发展方向。......
本文首先阐述了电容式微加速度传感器的一般结构及系统建模方法，然后提出一种静电力反馈平衡控制电路，先通过高频调制信号产生检测电......
文中从应用开发ＭＥＭＳ产品的实用角度出发，着力介绍一种新型的电容式微型压力传感器的结构组成和它的ＭＥＭＳ制造工艺。文中详细给出了这种电容式......
文中介绍一种可调零点和增益的电容式微型传感器。通过对ＭＯＳ电流镜电路的深入探讨，给出了由ＭＯＳ电流镜电路组成的零点和增益可调的电容式微......
文中主要介绍一种新型电容式测压微传感器的结构及测量电路。通过对测量电路的理论分析、仿真和实验验证，证明这种微型传感器采用独......
讨论了微机电固态引信核心子系统(即微传感器系统)的设计和分析,并针对典型的弹性质量系统,建立了其过载变形的模型,给出了用于计......
To address the need for the on-site measurement of aging oil, in this paper, we propose an impedance-based microsensor f......
本文简单地评述了微传感器和执行器的发展概况。...
概括介绍了微流动系统的发展情况 ,特别介绍了微型传感器、微型泵、微型阀、微型通道及微流动系统的结构特点......
AN ANALYSIS ON CHARACTERISTIC OF MAGNETOELASTICITY OF A MAGNETIC FIELD MICROSENSOR MADE OF CANTILEVE
The purpose of this paper is to study the magnetomechanical characteristic of a microsensorwhich is composed of a cantil......
